●產品概述
  SIC 涂層石磨基座具有耐高溫、抗氧化、純度高和耐酸堿鹽及有機試劑等特性，物理化學性能穩定。與高純度石墨相比較，高純石墨在400℃時開始發生強烈氧化，即 使溫度不高，長期應用也會因氧化而掉粉末，會依附工件和臺面或污染使用環境，因此SIC涂層石墨基座作為一種新耗材MOCVD設備、粉末燒結等工序上逐 漸代替高純石墨。
● 主要特點：
1.高溫抗氧化：抗氧化,溫度高達1600℃時抗氧化性能仍然非常好；
2.純度高：高溫氯化條件下化學氣相沉積方法制得的；
3.耐沖刷：硬度高、表面致密、顆粒細；
4.抗腐蝕性：耐酸、堿、鹽及有機試劑；
5.SIC表面層為β-碳化硅，屬面心立方。
●  主要參數：

●產品應用：
  外延生長用的石墨基座涂層(包括Veeco，AIXTRON,Thomas Swan)。
●聯系方式：
   0534-2129266
*公司網址：